{"id":158,"date":"2017-05-01T06:00:42","date_gmt":"2017-05-01T09:00:42","guid":{"rendered":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/?p=158"},"modified":"2018-07-16T12:42:08","modified_gmt":"2018-07-16T15:42:08","slug":"fabricacao-de-reatores-de-microcanais-por-litografia-macia","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/fabricacao-de-reatores-de-microcanais-por-litografia-macia\/","title":{"rendered":"Fabrica\u00e7\u00e3o de reatores de microcanais por litografia macia"},"content":{"rendered":"<p>&nbsp;<\/p>\n<p><strong>Litografia macia<\/strong><\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">Na postagem de hoje, irei descrever em linhas gerais a fabrica\u00e7\u00e3o de reatores de microcanais, ou simplesmente microdispositivos, em polidimetilsiloxano (PDMS) utilizando a t\u00e9cnica de litografia macia. Mais detalhes, o leitor pode consultar um \u00f3timo artigo em portugu\u00eas sobre o tema dispon\u00edvel <a href=\"http:\/\/www.scielo.br\/scielo.php?script=sci_arttext&amp;pid=S0100-40422007000800034\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">aqui<\/a>.<\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">Os meus microdispositivos foram fabricados no Laborat\u00f3rio de Microfabrica\u00e7\u00e3o (LMF\/LNNano, Campinas \u2013 SP). O processo de fabrica\u00e7\u00e3o, resumidamente, consiste da escolha do substrato s\u00f3lido, fotograva\u00e7\u00e3o dos microcanais em um pol\u00edmero fotossens\u00edvel (fotorresiste), replica\u00e7\u00e3o dos dispositivos microflu\u00eddicos e selagem dos microdispositivos (Figura abaixo).<\/p>\n<div id=\"attachment_908\" style=\"width: 810px\" class=\"wp-caption alignnone\"><img fetchpriority=\"high\" decoding=\"async\" aria-describedby=\"caption-attachment-908\" class=\"wp-image-908 size-large\" src=\"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-content\/uploads\/sites\/107\/2018\/07\/litografia-macia-1024x790.png\" alt=\"\" width=\"800\" height=\"617\" srcset=\"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-content\/uploads\/sites\/107\/2018\/07\/litografia-macia-1024x790.png 1024w, https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-content\/uploads\/sites\/107\/2018\/07\/litografia-macia-300x232.png 300w, https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-content\/uploads\/sites\/107\/2018\/07\/litografia-macia-768x593.png 768w, https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-content\/uploads\/sites\/107\/2018\/07\/litografia-macia-150x116.png 150w\" sizes=\"(max-width: 800px) 100vw, 800px\" \/><p id=\"caption-attachment-908\" class=\"wp-caption-text\">M\u00e9todo de fabrica\u00e7\u00e3o de microdispositivos por litografia macia. Adaptado de Santana et al., 2016. DOI:10.1016\/j.cej.2016.05.122<\/p><\/div>\n<p style=\"text-align: justify\"><span style=\"text-decoration: underline\"><strong>Etapas do processo<\/strong><\/span><\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">Um filme de fotorresiste (SU-8) \u00e9 depositado pela t\u00e9cnica de \u201cspin coating\u201d sobre a superf\u00edcie de um substrato (quartzo) (a), sendo em seguida realizado um processo de fotolitografia. A fotolitografia consiste em transferir estruturas microm\u00e9tricas para um substrato com o aux\u00edlio de radia\u00e7\u00e3o UV ou raios-X.\u00a0 Nesse caso a radia\u00e7\u00e3o UV atinge a superf\u00edcie do fotorresiste ap\u00f3s atravessar uma m\u00e1scara, que fica entre a fonte de radia\u00e7\u00e3o e o substrato (b).<\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">M\u00e1scaras ou fotolitos cont\u00e9m o padr\u00e3o dos microcanais que estar\u00e3o nos microdispositivos. No meu caso, esse padr\u00e3o foi feito com aux\u00edlio do software AutoCAD 2015. Depois da grava\u00e7\u00e3o, a imagem gravada no fotorresiste \u00e9 revelada com solventes org\u00e2nicos e o molde (substrato, fotorresiste e padr\u00e3o dos microcanais) est\u00e1 pronto para replica\u00e7\u00e3o (c). Para essa etapa, um pol\u00edmero linear de cadeia longa (Polidimetilsiloxano, PDMS) \u00e9 misturado a um agente reticulador (pol\u00edmero de cadeia curta) e despejado sobre o molde. O pol\u00edmero torna-se s\u00f3lido ap\u00f3s a reticula\u00e7\u00e3o e a estrutura do microdispositivo do molde \u00e9 transferida para o PDMS (d). Nessa etapa, tamb\u00e9m s\u00e3o inseridos tubos, atrav\u00e9s dos quais ser\u00e3o bombeados os fluidos para dentro dos dispositivos.<\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">Na \u00faltima etapa, \u00e9 realizada a selagem dos microdispositivos. As superf\u00edcies do substrato e da cobertura, que pode ser o PDMS ou vidro, s\u00e3o colocadas em contato com plasma, ativando as superf\u00edcies desses materiais, resultando em uma liga\u00e7\u00e3o covalente entre o PDMS e a cobertura (e).<\/p>\n<p style=\"text-align: justify\">Abaixo, deixo com voc\u00eas um v\u00eddeo do canal no YouTube do\u00a0<em>Microfluidics and Multiphase Flow Laboratory<\/em> da Universidade de Binghamton (Nova York &#8211; USA) que exemplifica algumas etapas descritas anteriormente de forma pr\u00e1tica.<\/p>\n<p><iframe title=\"Fabrication of PDMS Microfluidic Devices\" width=\"800\" height=\"600\" src=\"https:\/\/www.youtube.com\/embed\/RxoZhAevZVo?feature=oembed\" frameborder=\"0\" allow=\"accelerometer; autoplay; encrypted-media; gyroscope; picture-in-picture\" allowfullscreen><\/iframe><\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>&nbsp; Litografia macia Na postagem de hoje, irei descrever em linhas gerais a fabrica\u00e7\u00e3o de reatores de microcanais, ou simplesmente microdispositivos, em polidimetilsiloxano (PDMS) utilizando a t\u00e9cnica de litografia macia. Mais detalhes, o leitor pode consultar um \u00f3timo artigo em portugu\u00eas sobre o tema dispon\u00edvel aqui. Os meus microdispositivos foram fabricados no Laborat\u00f3rio de Microfabrica\u00e7\u00e3o (LMF\/LNNano, Campinas \u2013 SP). O processo de fabrica\u00e7\u00e3o, resumidamente, consiste da escolha do substrato s\u00f3lido, fotograva\u00e7\u00e3o dos microcanais em um pol\u00edmero fotossens\u00edvel (fotorresiste), replica\u00e7\u00e3o dos dispositivos microflu\u00eddicos e selagem dos microdispositivos (Figura abaixo). Etapas do processo Um filme de fotorresiste (SU-8) \u00e9 depositado pela t\u00e9cnica de \u201cspin coating\u201d sobre a superf\u00edcie de um substrato (quartzo) (a), sendo em seguida realizado um processo de fotolitografia. A fotolitografia consiste em transferir estruturas microm\u00e9tricas para um substrato com o aux\u00edlio de radia\u00e7\u00e3o UV ou raios-X.\u00a0 Nesse caso a radia\u00e7\u00e3o UV atinge a superf\u00edcie do fotorresiste ap\u00f3s atravessar uma \u2026 <a class=\"continue-reading-link\" href=\"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/fabricacao-de-reatores-de-microcanais-por-litografia-macia\/\">Continue lendo <span class=\"meta-nav\">&rarr; <\/span><\/a><\/p>\n","protected":false},"author":167,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_monsterinsights_skip_tracking":false,"pgc_sgb_lightbox_settings":"","_vp_format_video_url":"","_vp_image_focal_point":[],"footnotes":""},"categories":[19,7],"tags":[20,12],"class_list":["post-158","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-fabricacao-de-microdispositivos","category-origens-fundamentos","tag-microdispositivos","tag-microfluidica"],"jetpack_featured_media_url":"","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/158","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/users\/167"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=158"}],"version-history":[{"count":10,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/158\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1172,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/158\/revisions\/1172"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=158"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=158"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.blogs.unicamp.br\/microfluidicaeengenhariaquimica\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=158"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}